技術(shù)方案
Technical scheme
堿拋光技術(shù)研發(fā)的目標(biāo)是應(yīng)用于PERC電池生產(chǎn)的背面拋光工序。
1.可實(shí)現(xiàn)鏡面拋光效果,電池轉(zhuǎn)換效率較酸拋提升大于0.1%;
2.工藝過(guò)程中無(wú)硝酸,實(shí)現(xiàn)無(wú)氮排放,對(duì)環(huán)境友好;
3.硅片大尺寸薄片化趨勢(shì)下,堿拋光能在小減重下達(dá)到鏡面效果,實(shí)現(xiàn)良好的背鈍化。