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鏈?zhǔn)酵嘶鸺夹g(shù)研發(fā)的目標(biāo)是應(yīng)用于SE-PERC電池生產(chǎn)的背面拋光工序。

1.激光SE摻雜后在硅片表面用鏈?zhǔn)窖趸夹g(shù)生長的氧化層，可在背面堿拋時實(shí)現(xiàn)良好正面保護(hù)效果；

2.相較管式熱氧化工藝，可大幅生產(chǎn)便捷性并且降低成本。